De mest udbredte typer af termiske flowmålere er små kompakte enheder, hvor gassen ledes igennem en delstreng forbi to temperaturfølere – mellem disse er placeret et lille varmelegeme, der tilfører en konstant energi, og det er så differenstemperaturen, der er et udtryk for masseflowet.
Fordelen ved dette arrangement er, at sensorelementet kan fremstilles som en lille integreret enhed (CMOS chip) med meget lille energiforbrug, hurtig responstid og med stor ensartethed, der letter den senere indstilling/kalibrering.
Hele herligheden monteres på flowstrækket, der også indeholder en flowsplitter/restriktion, som sørger for en repræsentativ del af flow’et passerer målekammeret. Det er så op til elektronikken og leverandørens erfaring at tolke den målte differenstemperatur og omsætte den til et brugbart målesignal.
Termiske flowmålere/switche er baseret på det termiske spredningsprincip, et princip der beskriver hvordan et opvarmet legeme afkøles når et medie passerer.
Skal princippet bruges til flowmåling gøres det ved at kontrollere opvarmningen af et legeme i mediet, idet opvarmningen styres så der altid er en konstant differenstemperatur med en identisk udformet reference udenfor mediet, så vil den effekt der skal benyttes til opvarmningen nemlig være proportional med masseflowet af mediet.